二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293591401 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是专门为满足半导体产业需求而设计的扩散炉及配件。该炉配有先进的控制系统和高效的炉件，非常适合生产高质量的半导体部件。TEL VCF-615S采用双夹套，四区，多晶硅加热石英管先进的温度控制。该炉的温度范围为1000 °C至1100 °C,可在+/-1 °C的精度范围内进行控制。此外，该管被高效石英墙包围，可实现无缝绝缘，确保其表面的高温均匀性和可重复性。TOKYO ELECTRON VCF 615S设计具有超温保护、压力控制系统和部分封闭的化学气氛等先进的安全特性。此外,它还具有各种增强性能的附件,包括石英船、蒸发柜和化学气相沉积（CVD）系统。TOKYO ELECTRON VCF-615S非常适合扩散、退火、CVD等过程。它为提高流程可重复性、产品质量和成本竞争力提供了高效灵活的平台。此外,三室设计允许快速安装和调试以及降低功耗。VCF 615S是在半导体和液晶行业要求苛刻的应用的理想选择。它是一种极其可靠的扩散炉和配件，提供了高品质和经济高效生产的完美结合。