二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293596062 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是用于半导体材料和器件研发的扩散炉及相关配件。它是一款功能齐全的设备，能够承受0到16V的高压范围，独特的自动控制功能保证了最佳的增长质量和可重复性。对于高频、低功率CMOS集成、薄膜晶体管、热电器件、基于MEMS和NEMS的器件等先进半导体材料，以及高温超导体等新型电子材料的开发都非常出色。TEL VCF-615S是一个单室，自动测绘炉（AMF），具有创新的设计，允许具有最小空隙和缺陷闭合层的均匀生长。其苗条、低调的设计有助于缩短装卸时间和维护操作。该系统采用先进的供暖和制冷技术，以每分钟40°C的速度实现高达1100°C的可靠均匀处理温度。它能够控制真空室内的温度和压力，也能控制反应熔石的压力和位置。此外，TOKYO ELECTRON VCF 615S的独特之处之一是它的多输入电源，0.5V步可调节电流和电压从0到16V。这允许自定义增长参数,例如温度、功率和优化增长条件的时间。TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S具有垂直和横向生长的能力，是研究开发氮化物材料的LED和激光二极管以及开发基于GaN和AlGaN的垂直晶体管的理想工具。该单元狂热地配置了最新的自动化和手动控制器，提供了多级访问和控制机器，让研究人员能够监控和控制过程的条件和参数。它还配备了许多视觉和可听到的警报和通信网络，有助于跟踪制造过程。TOKYO ELECTRON VCF-615S还配有多种配件，包括用于温度测量的高温计、气体流量计、气体溷合器、用于精确电压和电流读数的离子易货器以及压力控制器。这样可以精确控制腔室压力，确保层间均匀生长，防止空隙和缺陷的形成。此外，VCF 615S的温度均匀度± 2°C，压力均匀度± 1 mBar。综上所述，VCF-615S是为研发先进半导体材料和器件而设计的先进可靠的扩散炉及相关配件。它提供无与伦比的精确控制和可重复性,帮助工程师和科学家开发可靠和高性能的产品。