二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747447 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是一种扩散炉和附件，用于制造半导体器件的工业过程，如计算机芯片、太阳能电池和晶体管的器件。扩散炉采用热扩散工艺来掺杂生产所需的不同元素（主要是硼和磷）的半导体基板。这是一种石英加工管，长度为1600毫米，宽度为166毫米，能够在1250摄氏度的最高温度下工作，用于植入、扩散、退火和热氧化的过程。TEL VCF-615S扩散炉提供的高热惯性使其成为微型部件高电流制造的理想小型化设备。扩散炉的有效性不仅在于它的高热惯性，而且在于它的精度和可靠性，以及它的低单位成本。它还在温度均匀性、高加热速率和精确快速设置温度方面提供了最大程度的工艺控制。该炉还配有能够主动调节工艺温度的热电偶系统、用于扩散时间和速率的全系列控制系统以及集成的背景气体（Ar和H2）。此外，其气体测量装置还配备了安全功能，以防止加工管受到污染，并避免机器中任何有害气体含量的增加。此外，TOKYO ELECTRON VCF 615S提供集成的通风孔，确保过程气体迅速散布，避免危险的积聚水平。该单元具有三层Ni-Pt绝缘铝制腔室，保护层腔室可随时提供安全保护。该炉还能保证耐高温和耐热冲击.此外，石英室具有表面光洁度，确保良好的模块接触。TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S扩散炉及其附件是一种可靠和坚固的装置，能够有效和准确地掺杂制造半导体器件所需的不同元素。配备了热电偶系统、控制系统、背景气体、工艺气体、保护层腔室、Ni-Pt绝缘铝室等多种特性，这款扩散炉为半导体的产生提供了强大可靠的解决方桉。