二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9068949 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S扩散炉是一种先进的数控装置，专为广泛的扩散应用而设计。扩散炉使用户能够通过受控温度设置和晶圆两侧的均匀加热来实现快速处理时间。TEL VCF-615S的建立是为了提供高达999 °C的均匀分布的热量，这使得它成为阳极键合、扩散应用和真空退火的绝佳选择。TOKYO ELECTRON VCF 615S包括一个基于WINDOWS的控制单元、一个炉，以及法兰加热器、加热器门和一个可信的TEL电脑设备等附件。基于WINDOWS的控制单元是一个易于使用的过程控制系统，可用于自定义过程配方。该面板使用户能够在整个扩散过程中观察温度、过程时间、加热阶段和真空条件。炉子由通过加热陶瓷管连接的上下腔室组成。加热元件位于上腔。为确保温度均匀，上下室定期调整至相同温度。对于多晶片系统,以不规则的间隔安装特殊的热屏障,以创建横跨晶片表面的温度剖面。加热器门可通向上室，法兰加热器有助于在整个扩散过程中保持均匀的温度。可信的TOKYO ELECTRON计算机单元帮助用户管理扩散炉并控制处理参数。它们为用户提供了一台安全的机器,使远程流程控制和监控系统和流程能够轻松地从任何位置进行管理。VCF-615S扩散炉是半导体工业先进扩散应用的理想、可靠的解决方桉。该设备的独特功能使用户能够通过可信的TEL/TOKYO ELECTRON计算机工具实现更快的过程时间、均匀的温度和精确的过程管理。