二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9269439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是一种垂直扩散炉，有许多附件，能够使扩散过程更加精确和高效。它设计用于半导体工业中的氧化、吸气、沉积和快速热处理（RTP）等应用。炉子本身是由高质量的部件如不锈钢热室制成的。该室配有功能强大的双区加热设备，具有用户可调节的PID温度控制和0.1℃的加热精度。腔室也可以倾斜以受益于重力辅助选项，从而在扩散过程中实现最大均匀性。TEL VCF-615S还配备了可容纳200毫米晶圆的石英船。这艘船由双末日门提起，这有助于在这个过程中保持晶片的安全。石英船也可以倾斜到45°，以更好的晶圆冷却和定位。对于装卸，TOKYO ELECTRON VCF 615S配备了自动晶片盒穿梭系统。这个PC控制的单元可以将晶片移动到离热室最远半米的地方，以减少热辐射对操作员的影响。穿梭机还允许用户进行预加载和后加载晶片，以加快加载时间。除了以上所有内容外,TEL VCF 615S还提供了几种能够提高性能的配件。其中之一就是扩散监测仪，它实时监测扩散过程，以确保安全性和准确性。显示器还有一个内置的彩色显示屏，可用于观察过程和输入数据。其他附件如数据记录器和压力真空系统可以进一步提高工艺效率。总之，VCF-615S是一个设计精良的垂直扩散炉，它提供了许多特点和附件，以便更有效地使用。炉子和配件的设计都考虑到了安全性和精确度，使其成为半导体应用的绝佳工具。