二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615T #9198250 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T是一种扩散炉和附件，设计用于满足半导体行业的各种需求。这是一种先进的熔炉，用来将一层氧化薄膜沉积到基板上。这被称为氧化，是制造现代半导体芯片的重要步骤。TEL VCF-615T扩散炉能够在高达1,100 °C的温度下运行,并且可以在氧化、氮化或仅炉模式下工作。这种多功能性使得它可以在广泛的应用中使用，从闸门和源/排水扩散到接触形成等等。TOKYO ELECTRON VCF-615T扩散炉还配备了风冷换热器，使得利用冷氮辅助冷却速率成为可能，以取得更好的效果。VCF-615T扩散炉具有多种特点，非常适合半导体工业。该炉设有两条工艺气线，允许双气体输出和两种气体同时用于需要它的工艺。TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T还具有自动化功能，具有用户友好的控制系统，可设置该系统以自动调整炉子设置以达到所需参数，并使炉子保持在指定温度范围内运行。TEL VCF-615T扩散炉配备了多项安全功能，如用户设置的紧急停止按钮、紧急电源关闭和气体关闭系统，以及检测炉子何时达到所需温度并相应关闭炉子电源的传感器。总体而言，TOKYO ELECTRON VCF-615T扩散炉是一种高效、用户友好的系统，其设计采用了该领域最新的技术进步。拥有易于使用的控制系统、通用的温度范围和先进的安全特性,VCF-615T是任何半导体制造厂的绝佳选择。