二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF615C #9137186 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C扩散炉及附件是一种专门用于沉积具有精确定位精度和可靠性的平面或非平面结构的工具。这种设备对于半导体的制造和开发特别有用。TEL VCF615C系统包括一个加工室、一个转移机器人、一个运输工具和一个增强型基板转移单元。该工艺室的设计结构有利于处理较大的基板，并提供低污染水平。转移机器人配有步进电机和直接驱动机，以确保在腔室和运输车之间转移基板的平稳可靠运动。Transporter是一种高速装载工具，能够容纳大量基板，并提供基板的快速装卸。最后，ESTS提供了基板的快速和精确的对准。该资产提供多种基材功能,包括尺寸从3英寸到12英寸的晶片,以及金属箔和磁带托架。TOKYO ELECTRON VCF615C还提供本地和远程支持的最佳过程控制。它还与一系列可选功能兼容,例如现场端点检测和进程参数的实时监控。这些功能通过TEL流程数据分析模型（PDAS）提供。VCF615C还具有许多安全功能以防止故障,包括打开/关闭限位开关和减压安全系统一旦超过室内正常压力即启动。此外,它还具有强大的可编程触摸屏和可倾斜液晶显示器,适合人体工程学操作。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C扩散炉及其配件是为平面和非平面结构的高效可靠扩散加工而设计的先进设备。它在清洁、安全的工作环境中提供高吞吐量,具有一系列用于半导体制造和开发的先进基板功能。