二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR #293666967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR，是一种品质扩散炉，设计用于生产具有可靠完整性和完美性能的晶片。它提供了一个高水平的追溯和控制，以适应最超高真空（UHV）应用的需求。TEL VCM-50-003EPR配有外保温的内壁炉，具有优异的高温性能。它是为10-10 Torr范围内的最大真空性能而构建的。该炉的设计保证了在特高压室内和两区真空气氛中均匀的温度分布，以获得最佳的氧浓度。设备装有石英反应管、用于固定反应管的上部压力穹顶、石英管燃烧器，以及便于进入内部的底座支撑。该炉还包括一个C型敏感器、一个全不锈钢装载室和一个门锁机构。该炉被设计为与多种材料一起使用，包括硅、蓝宝石、氮化氙（GaN）以及半导体工业中使用的其他材料。为确保最大性能和可追踪性,系统中使用的所有材料在使用前都要彻底清洁。而且，对碳气、氮气、氯气等气体大气的精确控制，使其成为要求最苛刻的特高压应用的完美选择。TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR还具有可靠的外部冷却功能,以提高安全性。该装置配有精心挑选的散热软管和这些冷却部件的贮器。这样可以确保所有外部隔间保持在安全温度。为进一步提升安全性，该机还配有带有附加传感器的自动监控和报警系统，以确保温度稳定。综上所述，VCM-50-003EPR是一种经过半导体行业尝试和信任的先进扩散炉。它提供了高水平的可追踪性和控制性，全不锈钢装载室，可靠的外部冷却，以及精心挑选的热软管和贮器，以提高安全性。此外，它还具有卓越的真空性能、对气体大气的精确控制以及方便的清洁和维护。