二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-610S #9392067 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF-610S扩散炉是一种高性能、自动化的半导体器件加工工具。它是材料散装和表面扩散的最先进的设备，具有精确的温度控制和良好的热处理均匀性。TEL VDF-610S燃烧室容量高6厘米，直径10厘米，允许广泛的材料扩散。该炉还配备了自动真空控制和可编程温度设置。这可以让使用者在扩散过程中达到高度的精确度。炉子设计有多种配件，帮助用户优化工艺。其中包括真空电平控制器、氮化硅crucibles和露点监测系统。Crucibles允许在腔室内精确、均匀和均匀的温度分布。该装置还配有一个集成的微波加热选项，可以更精确、更均匀地将热量传递到室内。该炉还能够在300摄氏度至1800C的各种温度下运行。为了安全起见，TOKYO ELECTRON VDF-610S包括一台接地故障保护机。此工具可作为任何电气故障时的预警资产。此外，它还有一个惰性清洗出口，以确保模型的安全、可靠运行。最后，VDF-610S配备了数字温度计和可编程逻辑控制器。这可以让用户快速准确地监控和调节室内温度。该炉还包括警报设备，用于在温度超过最大设定点时向用户发出警报。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON VDF-610S扩散炉是一种高度先进和通用的半导体材料热处理和扩散系统。凭借其多项安全特性、精准的温度控制、独特的配件，适合半导体行业的广泛任务。