二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #9226260 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615是用于制造各种器件的先进半导体加工制造工具。它是一个垂直扩散炉（VDF），有一个集成的主动大气控制设备，VC-ACTS。TEL VDF 615允许精确的过程回火和快速的热梯度控制。它用于将掺杂剂引入硅晶片，从而实现更高的材料性能和器件性能。炉子里有一个隔绝的房间，墙壁和底座都是靠环境密封的。这样可以确保任何空气或其他污染物都不会进入腔室，影响过程的纯度。房间周围的绝缘材料有助于保持整个房间的均匀温度。加热器元件位于TOKYO ELECTRON VDF 615顶部的盒状结构中，设计为均匀加热腔室。这样可以保证整个系统的温度均匀。VDF 615还具有被称为VC-ACTS的主动大气控制系统。该单元由加热循环机器和真空泵送机构组成。加热循环工具将掺杂剂均匀地分配到腔内，而真空泵送装置则降低了大气压。这确保了统一的大气控制，从而减少了进入室内的污染物，提高了工艺产量。一个独立的会计资产，称为PIII6，被整合到TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615中。此模型跟踪并存储计算机中的所有进程参数值。这样可以方便地比较当前和历史数据以及有效的内存管理。所有数据可以存储长达2年，并通过互联网远程访问。TEL VDF 615广泛应用于半导体行业的各种加工应用。它提供可靠、可重复和准确的性能。集成的主动大气控制设备和PIII6核算系统使该工具成为半导体行业可靠、用户友好的选择。这种扩散炉是为生产高质量的产品而设计的，它对大气的持续控制提供了一致的结果。