二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293749182 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S是一种具有先进控制和仪表的超高精度垂直扩散炉。其先进的供暖和制冷能力使其能够处理各种行业的广泛扩散过程。是半导体生产、航天、医疗器械制造等诸多需要严密温度控制的应用中精密温度控制的理想解决方桉。TEL VDF 615S具有一个615mm直径的不锈钢腔室，用于容纳各种各样的基板，在氮大气中的最高温度为1000 °C。其优越的隔热效率使其能够在整个腔室保持均匀的温度，提供均匀且可重复的扩散过程。TOKYO ELECTRON VDF 615S还具有精确、快速的碳化硅加热元件，用于快速的室内加热和冷却。VDF 615S提供了一个高精度的温度和流量监测系统，其中包括先进的温度控制器，热电偶和热敏电阻。其PID（成比例积分导数）控制器能够精确控制温度,并能够保持温度低至100 °C。TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S的控制器还提供更快的加热和冷却速率以及降低的功耗，使操作经济。TEL VDF 615S还配备了一系列安全和操作功能。其双叶片安全关闭系统可在温度过高或压力过大的情况下关闭电源。此外，它的氢冷耦合装置可以防止火花和火灾的发生。为了额外的安全,它的数字计数器记录收费,运行时间和累积运行时间.TOKYO ELECTRON VDF 615S还包括各种附加功能，使其成为许多扩散过程的理想选择。其高精度的机械零件为硅、砷化氙和氮化氙等材料提供了超高精度的工艺。它还能够进行超高真空处理，这对于一些应用来说是必不可少的。最后,其先进的设备和优良的设计,便于操作和维护.VDF 615S的多功能性使得它成为许多不同扩散过程的绝佳选择。其高精度仪器和温度控制器可提供可重复和精确的扩散温度，而其先进的安全特性使其成为广泛行业的理想选择。其竞争性价格使其成为寻求高效可靠扩散炉的企业的经济选择。