二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293801781 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S扩散炉是一种固态化学扩散炉，设计用于半导体工业和研究实验室。温度范围在50-900摄氏度，这种扩散炉适合广泛的扩散过程。其设计包括固体石墨加热元件、传导调谐加热曲线和压力密封室，以确保加热均匀。该扩散炉配有适合各种温度剖面的三区模拟温度控制器。为了获得最高精度，前面板还包含一个可调风扇，以更好地冷却腔室的背面，一个排气口和一个热电偶连接。这样就可以在整个扩散过程中进行精确的温度调节和监测。为了确保扩散过程所需的高温在整个腔室内保持均匀，TEL VDF-615S还设有一个水平双层气流箱。这样可以确保气流在整个加热处理器上均匀分布,从而实现均匀的性能。TOKYO ELECTRON VDF-615S还配备了许多专门针对扩散性能的其他功能。侧面有一些特点，包括用于快速冷却的进气口、用于快速气体净化和排气的空气净化系统，以及有助于溷合气体的涡轮盘。另外，扩散炉配有一个光学窗口，使人们可以目视观察扩散过程。这个窗口是用石英盖保护的，以防止对腔室的污染，使其适合在广泛的温度范围内使用。为了保证操作员的安全，在扩散炉中建立了多VDF-615S特点。这包括排气流量监测仪、紧急排气口、紧急启动停止开关以及排气管中的氧气传感器。这些特性有助于减少潜在的事故并维护熔炉环境的完整性。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S扩散炉是一种可靠的设备，适用于广泛的扩散过程。它具有先进的安全特性和温度控制，是研究和工业的理想设备。