二手 TEL / VARIAN 200SJ #293608156 待售

TEL/VARIAN 200SJ扩散炉是一种先进的设备，在半导体制造领域具有广泛的重要应用。这种扩散炉具有独特的结构，允许更高的温度均匀性，更高的生产率，并且对扩散层的精加工过程有更大的控制。此外，TEL 200SJ还配备了石英岩干蚀刻设备和氢气还原选件等辅助部件，可进一步提高制造工艺精度。石英岩干蚀刻系统允许更有控制的干蚀刻程序，这对于从薄膜材料中产生较好的扩散层至关重要。该单元利用高温蒸发沉积孤立的薄膜石英岩层。此外，这台机器的高尺寸允许比其他扩散炉更大的层蒸发和沉积速率。氢气还原方桉利用氢气预退火处理进一步提高薄膜扩散层的质量。此选项允许对工艺参数进行内部调节,从而产生最准确的结果。VARIAN 200SJ扩散炉结构先进,温度均匀性更高,生产率最优.它具有低排放管状垂直设计，允许沿整个工艺室的整个长度均匀分布温度。此外，200SJ还有一个分开的淋浴设计，通过确保整个腔室均匀分布过程气体，帮助最大限度地扩大扩散过程。随附的气箱和入口有助于调节和监测工艺气体的流动。TEL/VARIAN 200SJ扩散炉是一种设计精良的设备，具有多种先进的特点，在制造过程中具有更高的精度和精确度。该炉能够在高温下工作，在均匀条件下蒸发沉积薄膜石英岩层。此外，随附的石英岩干蚀刻工具和氢还原选项提供了进一步的精确度，并允许在扩散层中获得最佳结果。归根结底，这种扩散炉是半导体工业生产扩散层的关键工具。