二手 TEL / VARIAN 200SJ #293608161 待售

ID: 293608161
优质的: 1990
Ion implanter 1990 vintage.
TEL/VARIAN 200SJ是一种先进的高温真空扩散炉,专为工业和研究应用而设计。它采用96%氧化铝的绝缘材料和不锈钢的隔热材料,封闭室采用气体辅助灭火装置,可快速冷却并防止炉子污染。该炉设有提供最大绝缘和压力保护的双壁设计,包括用于安全密封的多杆门锁系统。它在高达2000 °C的温度下运行,可容纳各种crucibles、holders、wafer和基材,以方便各种工艺。TEL 200SJ还配备了彩色触摸屏,便于仪表控制,并读出许多参数,包括温度、压力和阀门状态。它灵活、可编程的设计还允许定制配方,并支持多达110个配置文件-每个配置文件最多可包含20个段和64个坡道-这些配置文件可以存储起来供以后召回和编辑。这使得对退火、粘合、蚀刻等各种工艺的温度曲线进行控制变得容易。VARIAN 200SJ还配备了先进的互锁系统,保护用户和设备,并在烟雾或其他材料变得过高时自动停止炉子。另外,熔炉包括两条内置的气体管线,允许用户将气体连接到腔室,如氙气、形成气体或惰性气体。该装置还包括流量和压力控制器,有助于微调气体流量。该炉的石英管设计保证了长期的稳定性和均匀性,适合多种应用。200SJ是热处理、硬化、涂层、退火和扩散粘合等多种工艺的理想选择。它专为实验室和工业环境而设计,非常适合需要快速温度分布的过程。该仪器的特点,加上其可编程性、高品质性能和用户友好的设计,使其成为各种应用的理想选择。
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