二手 TEMPRESS 270 #2700 待售

TEMPRESS 270
製造商
TEMPRESS
模型
270
ID: 2700
3 stack furnace Approximately 6' long 5.5" bore 3 zones Analog controlled.
TEMPRESS 270是一种适用于半导体和工业热处理应用的扩散炉。270是利用低导热SiC绝缘材料保证高温均匀性的固态扩散炉。TEMPRESS 270采用耐用的金属元件和全包控制器,可精确控制温度、加热速率和冷却速率。270利用了顶部和底部加热元件,这些元件的设计是为了优化能源效率。节能三区双通道电源,对温度、加热速率和冷却速率提供精确控制。严密控制的区域内温度梯度允许精确、可重复和一致的热处理。TEMPRESS 270还提供各种温度斜坡功能,允许用户为不同的应用定制加热和冷却配置文件。270配备了执行高级功能的综合PID控制器,减轻了用户工作量。该设备还包括一个大型全彩色触摸屏界面和一个用于记录保存和导出的数据存储系统。界面设计为易于使用,允许用户快速、轻松地监控和调节温度。该装置的多炉室温区允许快速、高效地处理多种基材。TEMPRESS 270的内室设计有内部伺服驱动的传送带绝缘机,用于防止污染加工材料。传送带工具安装在装有弹簧的悬吊装置的顶部,以防止在加工室内积聚污染。这个绝缘室提供了高达2000摄氏度的必要扩散温度,同时保持高达0.1 torrs的低腔压。270还包括广泛的配件来优化工艺。一个集成的排气模型确保任何多余的炉子废气被清除到外部环境。先进的冷墙冷却设备,保护加工室免受外部热损失,并有助于维护工艺温度曲线。此外,TEMPRESS 270还提供了对上游氧气填充构成和下游惰性气体输送的精确过程控制。惰性气流通过提供超低背景浓度的氧气和其他污染物气体,有助于提供精确的大气控制。总体而言,270是理想的半导体和工业热处理应用扩散炉。通过精确控制温度和加热/冷却速率,它提供了最小化污染的优化热处理。多种多样的附加功能可实现精确的过程控制,以确保各种材料和基板的性能一致。
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