二手 TEMPRESS TS81004 #9121169 待售

TEMPRESS TS81004是一种扩散炉及其附件，设计用于将氮化物和氧化过程应用于贵金属。用于扩散键合、热氧化、氮化等多种用途。炉子本身由一个绝缘室组成，能够达到高达1650°C的温度，并通过精确的温度控制将温度传递到1.4°C以内。该套件还包括一个计算机控制器、气体入口、气体调节和排气口，用于控制处理。该系统允许对各种操作方桉进行精确和一致的处理。扩散炉的腔室设计用于容纳尺寸不超过4.5英寸的基板，最大样品厚度为1英寸。用于扩散粘合的材料可以从标准工艺目录中的任何可用材料中选择，因此适用于各种各样的材料和工艺。设置中还包括一个托盘套件，最多可容纳6个晶圆，用于热氧化和氮化过程。TS81004扩散炉装置还配有附件，使系统更容易使用并确保安全。这包括一个排气通风机，允许整个腔室适当的空气流通，防止危险气体积聚，一个液氮储存和冷凝装置，以及防火开关和限温器等安全设备。TEMPRESS TS81004扩散炉及附件套件是一套集高精度设备与优越工业安全特性于一体的多合一套件。它提供了从扩散键合到热氧化和氮化的一系列工艺能力，适用于各类基材的加工。该系统还设计了多种安全特性和部件,以实现最佳的生产效率。