二手 TEMPRESS TS81254 #9196754 待售
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已售出
ID: 9196754
Furnace
Horizontal annealing / Oxidation furnace
SCARA Robot
Digital process controller (DPC)
Digital temperature controller (DTC)
TEMPRESS System controller (TSC-2)
(1) Advanced fans assy
(2) Excess temperature controller
(8) Tube adapters
(4) Radiation heat-shield
(4) Isolation collar
(4) Profiling thermocouple for 1250mm flatzone
(4) Tubes
(5) Heating zones
System leak integrity: 10-8 cc/s He
With full automation system
Spectre HV vapor dry etch system with full automation
2014 vintage.
TEMPRESS TS81254是TEMPRESS生产的一种先进且功能强大的扩散炉和配件,为要求苛刻的制造商剪裁。这种设置非常适合许多扩散过程,如氧化铝薄膜、电子包装和太阳能电池制造。这套的核心是TEMPRESS TS 81254扩散炉,设计用于高达1,500 °C(2,732 °F)的工艺温度。这个先进的系统提供4.5立方英尺(0.127米)的腔室和25千帕的最大工作压力。它配备了风冷、低调感应加热线圈,具有高达40 kHz的超高频,以确保精确的配方控制。此外,它还具有正向抽取轴向力风扇(AFF),以确保空气分布均匀,防止氧化,并防止后压积聚。TS81254附件包括一个先进的真空锁定阀(VLOV),该阀自动排出室内残留气体,以尽量减少炉膛内的水分。它还包括一个大容量的气体歧管,配置以确保安全和可重复的气流。这种歧管支持氮、氙和氢系统,加上它提供可靠的非溢出连接完整性。此外,系统设有多个烤箱控制器,监测关键压力、温度和湿度读数,对扩散过程提供恒定反馈。高等级、低曲率的充气滤波器进一步提高了热效率和电效率。TS 81254是一种极其可靠、高效的扩散炉及配件,适用于要求绝对精度的制造商。此设置用途广泛、可编程性强,并为可重复结果提供了一系列可重复的过程和参数。此外,它还具有先进的安全功能,可确保人员和环境的最大安全。总而言之,TEMPRESS TS81254是任何高级扩散应用程序的理想选择。
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