二手 THERMCO 10000 #9311638 待售
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ID: 9311638
晶圆大小: 4"-6"
Diffusion furnace, 4"-6"
Process: LPCVD Si3N4, LTO and oxide
(4) Tubes
Loaders included
2nd PLY Tube and LTO tube non-functional.
THERMCO 10000是一种扩散炉及附件套件,常用于工业製造过程,例如生产具有保护层的合金、半导体掺杂,或製造任何材料的薄膜或层。该设备由一个管式炉、一个集成控制器、一个工艺气体箱和一个气体歧管组成,允许进行多次样品控制。管式炉采用多孔氧化铝墙传热,内炉采用二硅化铵加热元件精确控制温度。该炉长8英寸,并配有晶体石英玻璃观察窗以监控过程。石英的额定温度可达3000 °C。安装在门上的转运臂是可用的,允许样品装卸.系统控制器包括内置调节显示器的5步编程触摸屏、用于测量温度和过程气流的两个精密电子仪表以及内置的通信端口。控制器中内置了一个警报单元,以提醒操作员注意任何进程异常。集成工艺气体箱采用两种调节器,通过分配歧管供应氮气或氨,可编程成多个样品或工艺步骤。必须在控制器中输入与正确气体匹配的部件编号,然后才能启动该过程。所提供的转运臂设计用于手动处理石英或金属圆柱体,以仔细处理试管内外的样品。所有与机器的连接都是快速断开的,可以放置在炉内,以减少对额外空间的需求。完整的10000工具(包括附件)可用于需要更高温度、精度和快速响应时间的应用程序。这种扩散炉和附件套件设计用于在多个循环和过程步骤中可靠地运行,而无需熟练的技术支持。
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