二手 THERMCO 4500 #59757 待售

THERMCO 4500是一种扩散炉及附件，设计目的是为半导体和薄膜加工应用提供可靠、低真空、高温的环境，同时提供更高的安全性和长期可靠性。这种先进的扩散炉使高度复杂、多步骤的模块能够作为一个系统进行配置和操作。4500采用专利不锈钢热室,集成石英元件,提供高达1200°C的均匀温度曲线。与传统的玻璃管炉相比，该系统具有更高的可重复性和更低的温度不均匀性。它还在整个温度范围内提供了非凡的温度均匀性（1200 °C+/-20 °C）。而且THERMCO 4500的双区管壳体设计允许同时直接进入热区和冷却区。4500专为加工薄膜和半导体晶片而设计，具有各种可选的部件，包括石英crucible、石英船和热屏蔽。其先进的控制器提供精确的过程控制与PID调节过程反馈和手动或自动温度模式。全绝缘腔室保证了高效率和低热梯度，使过程可重复和可靠。此外，THERMCO 4500还包括压力入侵开关、温度入侵开关、集成火焰检测系统等高级安全功能。4500中使用的标准电源为220/480V三相50/60Hz而最大功率输入为36KW。炉内尺寸为400mm*400mm*500 mm （L*W*H），建议气压为5 Torr。高级控制器配有8.4英寸液晶显示屏和基于Windows 7的软件,用于安装和操作控制。控制器还支持温度控制、编程、数据记录和故障检测。维修方面，建议THERMCO 4500的保养间隔为12个月或2000小时营运。它旨在在太阳能电池制造、先进半导体芯片、薄膜涂层等多种专用材料加工应用中提供精确的温压控制和可靠的扩散过程。其先进的安全特性和高温容量使其成为半导体和薄膜工业中最可靠、用途最广泛的扩散系统之一。