二手 THERMCO 5100 #9134801 待售
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ID: 9134801
晶圆大小: 6"
Horizontal furnace, 6"
Process temperature: 1150–1200 Celsius
(4) Tubes
Voltage: 415V 3Ph 50 Hz
EMO: No
Config (see system layout): H
Model: 5200
Heating element:
Model: MRL-3S, HC-61
P/N No:
0440817770 R03 (Tube 1)
0440817770 R02 (Tube 2-3)
0440817770 R01 (Tube 4)
Tube size : 225 / 235 mm
Water cooled heat exchanger / Position: Yes / Top mounted
Thermocouples: B Type
(3) Controlled zones
Over temp monitoring: Over temp board
Load station (L/S)
Model: 5200
Boat loader type: D2
HLF Air supply: Low blow
Blower power: 220V 50Hz
Hepa filter type: ULPA class 1.2 µ
Hepa filter access: Rear
Scavenger boxes: 12" Square
Head assembly: Cryco
Cantilever type: Paddle (2" Square handled)
Exhaust position / Connection: Upward / 7" x 7" Sq
Source cabinet (S/C)
Model: 5100
Gas manifolds: Upward
Exhaust position / connection: Upward / 4" x 7"
External torch: Low flow / Air cooled
Source heater: MRL P/N: 4000799600
Bubbler: Schumacher STC DCE
Process gas: Regulated and filtered
CDA: Regulated
Regulator: Aptech
Gauge: Celerity
Filter: Mykrolis
Gas inlet location: Top (Bulkheads exhausted)
Valve: All nupro diaphragm
Computer console (C/C)
Controller: Tmx 1.8.60
SBC Compliant: Yes
Miscellaneous
Straight Cables: Yes (ALL)
Elevator: No
Gas MFC Range
N2 20 SLPM
O2 20 SLPM
H2 20 SLPM
O2Lo 2000 SCCM
N2C 500 SCCM (Tube 1)
- 1000 SCCM (Tube 2)
- 1000 SCCM (Tube 3)
- 1000 SCCM (Tube 4)
O2 500 SCCM.
THERMCO 5100是专门为高纯度晶圆加工应用而设计的扩散炉及相关配件。它被设计成提供卓越的热均匀性和性能，创造一个理想的环境，精细晶圆处理。5100系列在高效、紧凑的设计中具有较大的承载能力。THERMCO 5100系列还设有自动晶片升降机，使用户无需人工辅助就能轻松从炉中装卸晶片。5100系列的扩散能力允许在多种应用中具有优越的薄膜特性，如低温氧化和氮化物，晶圆级封装的扩散过程，外延层沉积。该炉高效而紧凑的设计减轻了操作压力，减少了翻新周期，缩短了周转时间。它具有+/-2摄氏度的严密热均匀性，加上低功耗带来的性能提升，既节约能源又节约资源，产生的废弃物更少。通过系统独特的垂直侧壁热区设计确保了热均匀性,该设计在整个腔室内均匀分布热量,并有助于保持整个晶圆的最佳温度。THERMCO 5100系列还包括先进的可变功率容量，允许用户切换电压和功率，范围从120V到240V，从100W到2000W，具体取决于工艺的要求。这种可变功率能保持精度和热稳定性,同时提供更高的能效.5100系列设计安全，采用微调机电联锁系统，防止不需要的物体在操作过程中进入炉膛。该系统还具有绝缘热开关,有助于在操作过程中保持安全的温度,并防止任何多余的热量辐射到外部。最后,THERMCO 5100系列是为方便起见而设计的,它具有允许重复处理的循环编程接口,以及保存自定义循环配方以便于检索和将来应用的能力。5100系列是设计精良、可靠、高效的扩散炉及相关配件，适用于许多晶圆加工应用。它提供卓越的热均匀性和性能，确保精确晶片处理的成本和时间与其他方法相关的一小部分。THERMCO 5100系列将确保您的晶圆处理需求的质量和可靠性。
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