二手 THERMCO 5200 #9148881 待售

THERMCO 5200是专门为增强晶圆处理能力而设计的扩散炉及附件设备。5200具有全套的温度、压力和流量控制,可提供各种精密晶圆制造和其他先进的微加工需求。THERMCO 5200是一种能够快速加热和冷却的多功能一体系统。这种能力是可能的，这要归功于它的两个强大的，独立控制的加热元件系统。这两个系统可以达到令人印象深刻的最高温度2500 °C，允许各种各样的过程。此外，高达6.9 bar的压力能力和设备的高超热均匀性使得一个可选的扩散炉可以集成到设备中。该机的核心是其获得专利的管内加热元件，它结合了高性能和重复性以及无与伦比的温度均匀性。它的设计还允许从主室到外围炉的过程之间方便、持久的连接。该工具还具有主动元件冷却功能,以确保安全和可重复的性能。该装置还配备了耐用、风冷的扩散外壳，专门设计用于制造广泛的氟聚合物表面处理改进。这种改进有助于延长晶圆的寿命和性能。多区PID控制、出色的热和均匀性、精确的压力和流量控制、出色的温度稳定性以及较低的维护要求，使得5200成为各种先进微加工工艺的理想选择。该单元还能够将过程集成到当前的生产系统中，其直观的设计界面使其易于使用和正确配置。THERMCO 5200还有一个可靠的全球服务网络作为后盾,为能够保持您的资产平稳高效运行的技术人员提供可靠而及时的访问权限。5200具有极具竞争力的价格和卓越的性能,是满足任何先进的微加工需求的理想选择。