二手 THERMCO 5200 #9226173 待售

製造商
THERMCO
模型
5200
ID: 9226173
晶圆大小: 6"
Diffusion furnaces, 6" SiC Tube (7) Quartz tubes.
THERMCO 5200是一种扩散炉及相关配件,专门设计给制造商和研发中心使用,专门生产高质量的微电子和半导体。它拥有令人印象深刻的无氧环境,意味着在加工过程中没有氧气污染,铜反应非常低。5200为回火炉,温度范围为300-850°C,可编程冷却速率为-10至-60°C/min。扩散炉具有± 5°C的温度均匀性,有助于确保整个加工周期的结果一致。它还具有强大的对流设备和显示集成电流监测和汇款输出。THERMCO 5200的效率是由于炉膛内的纤维保温隔热砖、双强制对流源、PLC控制烤箱、先进的PID温度控制。此外,扩散炉先进的疏散系统,包括化学泵、流量计和提取阀,保证了清洁安全的环境。互锁保护,如防逆火、温度保护和输入信号保护,使操作员免受潜在危险的影响。5200可容纳长度不超过1.2m、宽度不超过30 cm的样品,非常适合许多应用。其灵活的线架单元和方便的石英管接入,让用户容易放置和取出他们的样品。拆卸晶片用锁方便固定,确保样品随时安全。总而言之,THERMCO 5200是一种可靠、高能效的扩散炉,具有先进的增效技术。优越的温度均匀性和强大的疏散机,结合其内置的安全特性,使5200成为高质量微电子和半导体生产的可靠选择。
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