二手 THERMCO / SVG 2600 #293660859 待售

THERMOCOTHERMCO/SVG 2600是一种扩散炉和附件，设计用于集成真空设备。设计用于半导体、显示器、光学材料等先进材料的加工。机器上的数字控件是为直观的用户界面设计的，便于操作。炉子有两个可以独立操作的腔室，提供多个温区。炉子的温度可达1250 °C。大腔室可容纳多种基材，使炉子用途广泛，能够满足各种应用的要求。腔室包括一个可更换的底衬，用于保护基板免受扩散过程造成的损坏。该炉包括一个自动气体输送系统，并配有一个双臂机械手单元。气体输送机由连接到质量流控制器的真空线组成。这允许以精确的速率引入纯惰性气体，允许精确控制温度、流量和停留时间。此工具设计为可预编程,允许可重复的过程。双臂机械手资产可以提高晶圆和基板放置的精度。该机械手能够精确放置基板，能够实现绝对可重复性，以实现工艺的最佳可重复性。SVG 2600具有集成的自动化控制模型,可精确控制和监视所有过程参数。该设备最多可存储25个程序，允许将几种配方编程到炉子中，从而方便过程重复性。该炉还包括一个数据记录系统，该系统允许实时的过程监测和绘图，以便于分析和故障排除。该炉具有多种安全保护功能，包括可调节计时器、过温保护和气流控制。THERMCO 2600是一种用途广泛的扩散炉，旨在满足各种应用的需要。它具有易于使用的数字控制、多个温度区、双臂操纵器、集成气体输送单元和自动控制机。自动化控制工具和数据记录的附加功能允许精确控制和过程监控。该炉是加工先进材料的可靠、高效的选择。