二手 THERMCO TMX 9001 #9285136 待售

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製造商
THERMCO
模型
TMX 9001
ID: 9285136
晶圆大小: 6"
Diffusion furnace, 6".
THERMCO TMX 9001扩散炉是为基板的高精度退火和热处理而设计的全自动设备。它是实验室和生产环境中高温扩散过程的理想解决方桉。TMX 9001具有多种配置和选项,可以为各种应用程序定制。此外,该设备还进行了优化,以实现高效运行和节能。THERMCO TMX 9001扩散炉的主体由不锈钢构成,包括四个核心部件:加热室、热解炉、空气预热器和工艺控制器。加热器室是一种单相空气对流室,旨在保证基板的均匀加热。热解炉是一个高温燃烧室,用来产生一个氮气气氛,用于精确的扩散过程。空气预热器是一种高效的风扇辅助系统,可确保环境空气在进入加热器室之前预热至所需温度。过程控制器是一个计算机化的单元,可以编程,以便对温度、时间和压力进行精确的过程控制和监测。TMX 9001扩散炉还包括几个附件以增强其能力。其中包括一个介电天线,可用于确保二次处理气体大气保持均匀。还有几种专门的衬里可用于优化样品加热,还有各种用于适应多个应用的样品支架。此外,该装置还配备了安全系统,如自动关闭和超压保护。总之,THERMCO TMX 9001扩散炉是一种精密的、专为高精度热处理而设计的自动化机器。其种类繁多的选项和配件使其能够针对各种应用进行定制,其优化的设计确保了高效的运行、节能和过程控制。TMX 9001是实验室和生产环境中退火和扩散过程的理想选择。
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