二手 TKK / TOKAI KONETSU KOGYA TRL300.300 #9351623 待售

TKK TRL 300.300是一种高效扩散炉，配有多种配件，便于重复可靠的样品处理。该炉适用于制造半导体器件所需的各种气相沉积和蚀刻工艺。KOGYA TRL300.300是为满足严格的工艺开发要求而设计的垂直型多区炉。它配备了石英管加热器，在均匀的温度分布中提供最大的加热。石英管允许在整个加热区的整个长度上精确调节温度。供热区进一步分为三个区域。可以将每个区域设置为不同的温度,为特定的处理周期提供最佳条件。该炉有一个集成的涡轮泵组件和一个压力控制的泵送设备，可以消除后流，将热应力降至最低，并且可以方便地容纳各种尺寸的晶片。抽水系统旨在最大限度地减少压力波动，并在整个处理周期中保持一致的温度和压力分布。在炉顶安装了一个高性能惰性气体输送装置，以确保一致的工艺精度和可重复性。气体输送机能维持所需的气体纯度和流量，并为工艺部件提供足够的停留时间。惰性气体输送工具进一步配备了质量流量控制器，以调节气体输送速率。质量流控制器控制惰性气体进料管的流量，以保持过程温度一致，限制惰性气体污染。炉子还配有一个气箱模块，向加热区提供氮气覆盖气体，防止基板氧化。氮气覆盖气体保持在固定压力下，确保操作的安全性和可靠性。TOKAI KONETSU KOGYA TRL 300.300是一种高品质、可靠、高效的熔炉，旨在满足最苛刻的生产要求。其各种配件和特点使其非常适合可重复和可靠的扩散处理。