二手 ULVAC Rise 300 #293587423 待售

ULVAC Rise 300
製造商
ULVAC
模型
Rise 300
ID: 293587423
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
System, 12" 2004 vintage.
ULVAC Rise 300是ULVAC製造的扩散炉及配件。它是一种应用广泛的先进炉,从各种材料的退火和热扩散到半导体掺杂。它是一种单级、交流供电、水平式的炉,最高可在3100 °C运行,最大载荷容量350 KG。炉内有不锈钢室,加热能力高达3000千瓦,以及特殊的冷气流设计,以减少窗口热辐射,提高效率。该装置还具有三个独立区域的受保护固态温度控制器,允许精确的温度调节。它也可以在真空或大气中操作,改善过程,同时确保在操作过程中降低噪音。此外,Rise 300还附有一个额外的尘埃收集盒,用于收集和处置处理过程中可能产生的尘埃颗粒。它还有一个带旋转和扩散调节的排气管,以提高效率和安全性。该炉还有一个互锁系统,用于操作人员的安全以及环境,防止事故和易燃气体/液体。该设备旨在最大程度地减少工作负载,减少准备时间,同时允许更长的运行周期。此外,它还具有横截面触摸面板,便于维护和操作。它还利用了最少数量的传感器,从而产生了成本效益高、可靠和高效的装置。
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