二手 ULVAC Rise 300 #293608971 待售

ULVAC Rise 300是一种最先进的扩散炉和附件,在半导体和材料加工方面提供无与伦比的性能。适合扩散、退火、外延生长、氧化等应用。Rise 300装有四个有独立控制器的石英室，允许弹性和冗余。ULVAC Rise 300的最高温度为1240摄氏度,能够容纳各种基材和工艺。Rise 300提供各种功能,旨在大大提高性能和可靠性。内置传感器和PID控制器可确保准确高效地管理和维护温度。获得专利的WindShield设备提供两条独立的气线和一个可调节的迷宫挡板，以确保工作室内的温度分布均匀。这样可以防止颗粒侵蚀，最终导致温度梯度，从而增加基板温度均匀性。ULVAC Rise 300有一个直观的用户界面，允许用户从触摸面板显示器设置和监视参数。它还包括改进流程控制的高级控制功能，以及用户访问的受密码保护的身份验证系统。此外，Rise 300还内置了防止热漂移的冷却单元，允许在加工过程中更好的控制和准确性。ULVAC Rise 300配备了几个附件，以优化性能和增强安全性。充气膜密封用于提供顶部和底部壳体的气密密封，防止操作过程中加工气体从腔室泄漏。该炉还配备了独立电源和超温监测机。这样可以防止基板过早加热和损坏电气部件。最后，排气管线和过滤器确保收集干净的废气粉尘排放，以消除由于空气中的颗粒引起的潜在问题。Rise 300是一个可靠、坚固和用户友好的工具,它允许执行一系列过程,并取得优异的效果。先进的控制系统，结合直观的用户界面，使ULVAC Rise 300成为先进半导体和材料加工的完美仪器。