二手 ULVAC Rise 300 #293608977 待售

ULVAC Rise 300（超低真空接入室）是ULVAC Technologies, Inc.的先进扩散炉及配件。它提供精确的温度控制、精确的真空等级，以及为半导体工业中的各种应用处理大型基板的能力。Rise 300配备了四个水平反应区和一个垂直反应区，在一个环境控制的容器中实现精确的温度均匀性。容器尺寸为16 "x 18" x 24"，最多可处理2.5" x 4"基板。四个反应区的最高温度为1600°C，每个区的实际最高温度由防止不安全状况的TC/RTD传感器持续监控。重型石英盖设计为消除辐射损失，提供精确的温度控制。ULVAC Rise 300提供精确的真空等级,最高可达0.0033 Pa。它采用适应性油泵和涡轮分子泵建造,比任何其他扩散炉都能更快地达到高真空水平。通风阀设计通过在处理过程中保持较高的真空水平，防止真空损失，并最大程度地减少污染。Rise 300配备了ULVAC专有的fire&forget技术。这使设备可以在一个设置中执行一系列操作,并且无需任何手动干预,最多可执行72小时。它还允许连续运行单个进程或最多六个进程,这些进程可以按任意顺序或组合重复,从而实现了与流程要求相匹配的灵活性。ULVAC Rise 300配备了一个用户友好的液晶控制面板,可轻松编程和管理来自一个位置的不同进程。它还有一个内置的光学发射光谱仪，增加样品吞吐量时间。此外，Rise 300配备了所有最新的安全功能，以确保过程的安全，并延长机组的使用寿命。它的设计也符合环境法规，使其成为任何半导体芯片生产设施的理想选择。