二手 ULVAC Rise 300 #9297203 待售

ULVAC Rise 300是一种多用途扩散炉及辅助设备，用于离子植入、快速热处理和先进装置技术中的掺杂剂扩散。它有一个垂直的圆柱形石英室，最多配备三个独立的惰性气源和一个真空设备，用于快速熔炉疏散。另外，该炉能够通过反应端口接纳原料，从而使反应物大规模运输到反应室内。该炉具有旋转对称的三区加热装置，在整个过程中提供均匀的温度，同时还可以对其0.2米的内部进行精确的温度控制。Rise 300允许在各种温度（1-300 °C）下进行各种处理,其设计允许调整每个区域的尺寸和工艺大气层,从而便于系统适应不同的工艺要求。ULVAC Rise 300配备了高精度数字数据采集单元，能够获取分辨率为10 μ m和0.1°C的温度剖面数据。嵌入式软件套件允许微调加热轮廓和序列。配置文件数据可以以各种数据输出格式存储以供以后分析,也可以传输到常用的软件包中。Rise 300系列还设有内置热力计和红外加热器，精度为+/-3°C，可精确控制温度和工艺气氛。辅助装置堆栈包括电源电路、SiC船执行器、废气分离单元和真空泵。每一个组件都经过特殊设计,几乎不需要维护,并提供卓越的可靠性。机器也是防水防尘的，可以在严酷的条件下间歇性操作和储存，而不会出现部件降解的危险。ULVAC Rise 300的交付包是软件、硬件和其他组件的补充包，以优化用户体验并确保设备的高效运行。全面的文档和易用性使其成为广泛的研究和生产活动的一个有吸引力的选择。