二手 ULVAC Rise 300 #9351472 待售

ULVAC Rise 300是为半导体晶片沉积后热处理而设计的高性能、高效扩散炉及配件。它能够提供精确的温度和时间条件，适用于多步骤退火、烧入、封装等多种过程。它的设计包括顶装石英管，能够接受直径达12英寸的晶片。石英管采用高耐用的G3石英材料制成，提供出色的热稳定性和均匀的温度分布。该炉还能达到室温到1100 °C的可变温度范围，是各种工艺的理想选择。此外,它的顶部装载机设计允许直接进入加热零件,从而提供卓越的过程控制和改进的工人安全性。而且Rise 300配备了动态过程控制系统。该系统采用反馈机制实时调整流程设置，提供对流程条件的详细控制，提高可重复性。此外,系统还具有一系列过程控制功能,包括区域分析和数据记录,从而能够对过程条件进行详细分析和优化。此外,ULVAC Rise 300还配备了一系列附件,旨在简化使用并确保结果一致。其中包括电磁真空卡盘和用于晶片装卸过程中快速温度稳定的冷却板，防止污染物进入的真空密封臂，以及用于监测工艺室内气体成分的氧气分析仪。此外，熔炉集成压力控制为优化扩散处理提供了恒压气氛。总之，Rise 300是一种先进的扩散炉，能够满足众多专业应用的精确温度和时间要求。其通用的设计允许直接访问加热的零件、改进的过程控制、专门的附件等,确保提供优异的效果。