二手 ULVAC V10-100LC #9350452 待售
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ID: 9350452
晶圆大小: 6"
优质的: 2009
Vertical furnace, 6"
Process: Sin / HTO
Main body
Control unit
Heater
JIG
Duct unit
Top cover
(6) Quartz tubes
UPS
2009 vintage.
ULVAC V10-100LC是一种扩散炉及其附件,用于多种化学过程。它为材料在称为低压化学气相沉积(LPCVD)的过程中扩散提供了精确的低温环境。这类熔炉主要用于生产材料薄膜,用于半导体工业生产有源和无源部件。V10-100LC具有独特的设计,利用低真空环境提供-50°C至800°C的温度范围和0.1至0.2°C/min的低热梯度。该系统包括一个先进的数字控制器,能够精确的温度,功率,压力监测和控制。此外,该炉还包括两个热电偶,一个用于温度测量,一个用于压力测量。ULVAC V10-100LC的独特设计采用多层石英管,使沉积发生在与系统其他部分物理隔离的低真空环境中。这样可以确保整个炉子的温度控制均匀,过程更加一致.另外,该炉采用石英加热元件、高效保温材料和经过CAD/CAM优化的钟形盖板,提供良好的温度均匀性。V10-100LC的其他功能包括快速冷却能力、高发射率以及在工艺周期结束时执行自动关闭的能力。ULVAC V10-100 LC的小占地面积、轻巧、坚固耐用的设计使其成为工业应用的绝佳选择。此外,系统的设计考虑到了灵活性,可以很容易地适应各种不同的生产过程。V10-100LC是各种材料低温扩散的一种经济、通用的解决方桉。其低温操作、高精度控制、紧凑的设计,使其成为半导体工业生产材料薄膜的绝佳选择和众多其他应用。
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