二手 ULVAC V8-100 #9373074 待售
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ID: 9373074
晶圆大小: 6"
优质的: 2008
Vertical furnaces, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, HCL
2008 vintage.
ULVAC V8-100是一种扩散炉及其相关附件。该产品设计用于高质量的汽相退火扩散,通过低压和低热负荷相结合而成为可能。这使得它成为各种材料如半导体、金属、陶瓷和聚合物表面退火的理想工具。V8-100包括一个870升的CVD腔室和一个堆叠转盘、一个由涡轮分子真空泵和一个旋转直接驱动机构组成的排气系统。转盘设计用于样品的快速装卸以及样品均匀扩散的高精度定位。涡轮分子真空泵保证了CVD室的稳定和低压环境,从而实现了蒸汽扩散。旋转式直驱机构可实现均匀扩散的平稳、连续运行和改进气流.ULVAC V8-100配备了最先进的控制系统,可实现流程自动化和实时监控。控制系统包括直观的GUI、实时压力监控、自动配方、过程报警、编程选项以及若干安全和故障安全功能。此外,该产品还能够存储多达10种不同的配方,这些配方可以快速访问并用于创建自定义流程。V8-100具有水平分流炉设计、不均匀的气体分配机制和先进的冷却系统,可防止不必要的热传递到环境中。此外,扩散炉的最高温度约为1400°C,使其成为众多应用的理想工具。低热载荷可最大程度地减少对样品的有害热冲击,并确保各种物质的均匀扩散。ULVAC V8-100设计方便用户、耐用且高效。它经过了广泛的精度、可靠性和精度测试,通常是免费维护的。此外,它还具有安全功能,可在各种行业和应用中安全使用。总而言之,V8-100是一个可靠和高效的扩散炉和相关的配件设计为卓越的耐用性,质量和性能。
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