二手 ULVAC V8-100 #9374733 待售

ULVAC V8-100
製造商
ULVAC
模型
V8-100
ID: 9374733
晶圆大小: 6"
优质的: 1998-2012
Furnaces, 6" 1998-2012 vintage.
ULVAC V8-100扩散炉是一种高效、精确的设备,用于在实验室环境中提供快速和可重复的扩散过程。它具有多种特性和配件,可用于精确定制流程。V8-100的电源是0-100V的整流直流电源,可为灯丝和电极供电。该腔室是一个两件式耐火石墨涂层的内部真空室,由顶部和底部组成。腔室连接真空泵,容量为70毫巴。ULVAC V8-100的加热元件可达到1200 °C的温度,基本温度为20°C。扩散炉还有一系列用于控制温度的热电偶,以及样品、晶圆或基板加热器。高温用钨丝产生,温度用石英栅格控制。石英栅格绕扩散炉内壁盘旋,充当真空室中颗粒的屏蔽。V8-100还有一些附件,如气体喷射设备、惰性气体供应和样品转移系统。气体注入单元被设计为提供惰性气体如氙气的连续流动,以确保真空室内污染物的浓度最小化。惰性气体供应用于为不同过程的腔室提供纯气源。样品转移机可有效地将样品进出室内,而不会暴露在空气中。ULVAC V8-100有一个集成的控制工具,可以用来编程炉操作。该资产旨在确保所有流程都能得到精确的控制和监控,同时还提供不同的反馈信息进行分析和优化。此模型还允许用户保存设置和配方以实现最大效率。综上所述,V8-100扩散炉是一种精密的设备,可以在实验室环境中用于精确的扩散过程。它能够达到高温,同时还提供一系列功能和附件,可帮助优化设置以实现最高效率。
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