二手 ULVAC V8-100 #9412411 待售

ULVAC V8-100
製造商
ULVAC
模型
V8-100
ID: 9412411
晶圆大小: 6"
Furnaces, 6" 1998-2000 vintage.
ULVAC V8-100是一种扩散炉及其附件,设计用于以低成本生产高质量的薄膜。用于半导体制造和光伏/光学制造。V8-100的扩散过程是一个三步过程,涉及用薄膜涂覆底物,将薄膜烧制后固化,以便将杂质从底物中抽出,进入薄膜的空隙。集成的冷却功能可防止热冲击导致薄膜质量差。ULVAC V8-100能够执行几种不同的扩散过程,并提供大量参数,以便灵活控制该过程。这包括控制气体流入比例、炉温和气压。此外,它还提供了两种操作模式来处理不同尺寸和厚度的基板。V8-100还配备了一个高效的循环对流风扇,该风扇在整个过程室中平均循环加热的空气。这种特性是有益的,因为它减少了热梯度和防止整个腔室和基板介质的不均匀加热。ULVAC V8-100还具有自动基板介质温度测量功能,用于检测基板腔在加工时的温度。这允许用户调整进程参数以产生一致的结果。此外,它还具有一个停机通知系统,可在流程周期内通知用户任何停机时间,并允许快速恢复流程。V8-100是一个坚固可靠的系统,旨在为用户提供高质量的电影在长期生产运行。它的低成本和灵活性使得它成为那些希望以较少的努力和较低的成本制作优质影片的人的绝佳选择。此外,其集成的冷却和停机通知功能以及基板温度检测系统有助于确保一致的结果并降低运营成本。
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