二手 ULVAC V8-100L #9373106 待售
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ID: 9373106
晶圆大小: 6"
优质的: 1997
Vertical furnace, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, N2O, HCl
1997 vintage.
ULVAC V8-100L是当今市场上最先进的扩散炉之一。它设计用于执行半导体器件制造、分析和研究等多种应用。它拥有悠久的成功运营历史,并配备了许多根据其应用需求量身定制的功能。V8-100L是一个可操作高达1100累积瓦的单区烤箱。它的工作温度范围很广,介于25至1400摄氏度之间。利用集成PID(比例积分导数)控制器,可以将温度控制和监测到+/-5度以内。它设计紧凑,占地面积小,操作简单。该炉采用高密度氧化铝内置内衬,效率最高。这种内衬消除了灰渣,提供了均匀的热量分布,延长了烤箱的使用寿命。此外,它还具有钛/铜加热元件,该元件由切入内衬的凹槽组成。该凹槽优化了加热元件和工件之间的热传递。在安全性方面,ULVAC V8-100L包含了几个保护功能。炉子配有多个故障安全系统和限位传感器,如果检测到任何异常温度或压力,这些传感器将关闭设备。它还有一个内置的气体关闭阀,只要感觉到异常值,它就会关闭气体。此外,该炉有一个N2和O2易燃性检测系统,如果它检测到这些易燃物的任何危险程度,它将关闭电源。V8-100L配有几个附件以确保获得最佳效果。其中包括一个气体管线歧管和用于气体控制的调节器,一个用于固定装载的石英船,以及一个用于批量装载的19升钟形罐。此外,ULVAC V8-100L与许多ULVAC品牌的外围设备兼容,如支持RF的ULVAC SB-1200焊铁、ULVAC白光加速度计和通用的ULVAC P5样品支架。总体而言,V8-100L是一个高度先进和可靠的扩散炉,满足了对高效和精确加工的需求。该烤箱具有钛铜加热元件、内置气体关闭阀和易燃性检测系统等特点,非常适合从制造、分析到研究等多种应用。它还可以与许多ULVAC品牌的外围设备配合使用。
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