二手 ULVAC V8-100LC #9350448 待售

製造商
ULVAC
模型
V8-100LC
ID: 9350448
晶圆大小: 6"
优质的: 2009
Vertical furnaces, 6" Process: Poly-Si (2) Main body Duct unit (2) Doors Control unit Heater Top cover Pump rack 2009 vintage.
ULVAC V8-100LC是由ULVAC, Inc.设计和制造的扩散炉及配件设备,ULVAC, Inc.是先进工艺和材料工程的全球领先者。这是一个理想的系统,可实现稀土合金的最佳集成和其他生产工艺。V8-100LC单元由一个由不锈钢制成的炉膛组成,并利用浮动式绝缘结构更好地保持整个炉膛的稳定温度分布以及优异的隔热性能。此外,一台平行的双猎枪式加热机允许在整个腔室内有非凡的加热速度和均匀性,允许快速和均匀的扩散退火。腔室内部还包括用于扩散过程的最佳气流结构。该工具配有隔热罩和由集成控制器和软件组成的控制面板。可配置的参数可以准确控制炉子和扩散过程的温度、压力和流量。通过集成的计算机和软件资产可以实现更精确的控制,从而实现复杂和复杂的流程管理。该型号配备了一个专有的装载设备,用于安全地将材料引入和移出炉膛。装载系统还有助于机组在装载后保持安全的压力。还包括一台自动安全机器,用于应对紧急情况,包括灭火和过温保护等功能,确保操作员能够安全安全地工作。该工具还包括各种可选功能以实现可自定义。这包括用于不同炉子的可选燃烧器资产、强大的冷却风扇以及可选的溅射和掺杂模型。设备的高级自动化功能进一步有助于仓储和装载所需材料。ULVAC V8-100LC系统为工业和研究用途的材料扩散退火提供了一个出色的解决方桉。凭借其强大的设计和先进的自动化技术,这个单元允许高效和精确的扩散退火过程,使其成为一系列生产和研究程序的完美选择。
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