二手 ULVAC V8-100LC #9373098 待售

製造商
ULVAC
模型
V8-100LC
ID: 9373098
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
Vertical furnace, 6" Process: D-Poly Gases: N2, SiH4, Ph3, ClF3 Temperature: 800°C Pressure: 130 Pa Speed: 100 mm/min (120) Wafer sheets 2001 vintage.
ULVAC V8-100LC是一种通用的扩散炉及辅助设备,专为半导体行业的专业退火、扩散和焊接应用而设计。这种扩散炉和辅助系统包括一个8英寸的ID炉和一个100毫米直径的钙化管,以及温度测量,温度控制和隔热系统。这个特定单元的特点包括一个自动流量控制机制,它允许操作员根据炉中反应桶的温度变化自动调整电离气体流量。该炉机还具有数字PID温度控制器,可优化温度控制和工艺参数的精确调节,可重复性和准确性。此外,这种扩散炉采用各种绝缘和高真空压榨技术,在扩散或退火材料时提供最大效率。在安全性方面,V8-100LC扩散炉采用自动紧急关闭工具,在温度过高或超压情况下自动关闭炉电源。该资产还配备了多个传感器和警告报警器,这样操作员就可以随时意识到任何潜在的问题。ULVAC V8-100LC扩散炉及附件型号还具有较低的隔热损耗,可用于多种应用中而不牺牲性能。这种低热损耗是通过使用的绝缘材料和炉体的高效设计相结合而得到的。低热损耗还提高了运行期间的能效。V8-100LC扩散炉及辅助设备也设计方便维修保养。例如,过滤器可以快速更换和检查,炉体可以拆分成几节,方便取用和维护。同时,该炉系统具有较低的保温损耗,具有抗振性能,为可重复工艺提供了可靠的效果。总而言之,ULVAC V8-100LC是半导体工业应用的理想扩散炉及附件。它提供了精确的温度控制和调节、广泛的安全特性以及较低的保温损耗,以实现最高的性能效率。这种散热炉及附件机设计广泛,维护方便,非常适合各种退火和扩散应用。
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