二手 VAC AERO VAH 1220 HV-2 #9045828 待售

VAC AERO VAH 1220 HV-2是一种扩散炉设备，用于在基板上沉积或引入各种材料。该系统由几个组件组成，包括一个腔室、外部安装的真空装置和电源。主室由三个加热元件加热，由两个Nichrome线加热元件和一个非晶硅（a-Si）加热元件组成。腔室的温度可设置为1220 °C，温度曲线均匀至± 5°C以内。腔室也可以下泵至105 Torr至10-10 Torr的水平。VAC AERO配备了有限的温度回收时间（LTRT）技术。此功能允许用户在一个退火温度下集中多批工作，从而消除了耗时的温度循环。LTRT由计算机控制面板控制到0.1°C以内。除了腔室本身，VAC AERO还配备了气体输送机。这种输送工具由两个控制阀组成，以便能够引入必要的工艺气体。然后，这些气体可以很容易地被抽到极低的水平。最后，资产还配备了多款旨在最大限度地提高安全性和便利性的配件。这包括用于监测腔室和过程的火石英玻璃视图端口、自动锁定减压阀、惰性气体净化模型以及用于温度测量的Incoloy级热电偶。总而言之，VAH 1220 HV-2是将材料沉积到基质上的通用工具。凭借其高温能力和高精度控制，作为先进研发实验室使用的理想设备脱颖而出。