二手 VARIAN 200SJ #9181749 待售

VARIAN 200SJ
製造商
VARIAN
模型
200SJ
ID: 9181749
晶圆大小: 6"
Medium implanter, 5".
VARIAN 200SJ是一种用途广泛的扩散炉和配件,设计用于各种应用。这种功能强大的设备能够高效地为各种应用提供均匀的温度和受控的大气处理。200SJ配备了强大的200 kW加热系统,具有灵活、可调的功率。它在整个室内提供精确的温度控制,高温可达2800 °C。该炉还配备了一个原位热电偶,用于温度监测和精确的过程控制。它还有一个自动重新点火单元和一个可以根据特定要求进行调整的机电控制装置。VARIAN 200SJ还包含了一个大气控制机,用高质量的密封和不锈钢气泡密封。该工具与惰性气体和反应性气体兼容,允许广泛的应用,如CVD、PVD、氮化和退火。压力控制和气流由自动质量流控制器监控,而整体资产由可编程逻辑控制器维护。200SJ还配备了一系列标准配件,例如样板、运行结束监控、快速冷却选项和强大的真空模型。这种先进的设备旨在促进大中型生产应用中的高效可靠的运行。VARIAN 200SJ还使用远程诊断计算机接口,以便于对系统进行故障排除和监视。200SJ是处理先进材料处理工艺的绝佳工具。其强大的加热器、精确的温度控制、先进的大气控制提供精确的温度和气流,使其成为材料质量和工艺控制要求严密的工业设置的理想工具。
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