二手 VARIAN 200SJ #9269475 待售
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VARIAN 200SJ是一种高效的扩散炉,专为加工各种材料而设计.该炉具有强大的48 kW结控制的熄火电动机，可加快坡道速率和降低热梯度，从而实现更大的可重复性。这款高性能炉具有额定1100摄氏度的可调石英反应管，便于在广泛条件下高效运行。该炉有八个加热区，能够达到高达1200摄氏度的温度，以便进行快速和精确的处理。除了扩散炉，200SJ还包括几个附件，以提高工艺能力。其中有高性能侧臂干气馈电系统、200 cc/min低压质谱仪、精密微调气体溷合器和石英气体喷射管。质谱仪在监测气体成分方面允许更大的控制和准确性，而气体溷合器则有助于保持精确和一致的气体温度和压力分布。这有助于保证扩散带和基板的均匀性。石英注射管和气动气体压力道口也有助于实现可重复气体流量和精确位置控制，以实现局部加工。这些道口提供了对气体压力和流量的精确控制，这种压力和流量是在熄火过程中以及在冷却过程中以及在基板装卸之前的清除过程中进行的。VARIAN 200SJ还提供高级计算机控制功能,具有直观且易于使用的图形用户界面（GUI）。这样，用户可以快速保存和召回工艺配方，实时监控炉子的性能。总之，200SJ是加工各种材料的绝佳扩散炉，具有先进的特点和配件，提高了工艺能力。这使得它成为用户在各种温度下寻找精确、可重复处理的绝佳选择。
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