二手 VEECO LSA 100 #293687430 待售
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ID: 293687430
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
System, 12"
Frontend module
Electrical rack
Cassette to cassette handling
Optical output module
ROFIN DC035 Laser
Laser type: Carbon monoxide laser, 5000 W
(2) AFFINITY Heat exchanger, 25 kW
SEMI / JEITA Wafer thickness and flatness
Wafer type: Doped, Un-doped and SOI Substrate
Linear motor drive
Hot chuck
Damper
Transformer: 100 V
(2) Transformers: 400 V
Gases: CO 6%, He 94%, N2, CO2, Xe
Linear scan with fixed laser
Air ambient
Temperature: 1150°C-1350°C
LSA Chamber (DSI) with chemical filter option
Signal light tower
Water leakage sensor with pan
Electric leakage breaker
Touch screen monitor
Flat panel display
Graphical user interface
PC Controller
EBARA 25AAF202 Cooling water circulation pump missing
Non-functional parts:
Plate window
Mount blades (Left and right)
(2) Chillers (25 kW, 50 kW)
2006 vintage.
VEECO LSA 100是为高性能半导体加工而设计的顶级扩散炉设备。这个先进的系统结合了尖端技术和精确控制，在各种应用中提供卓越的效果。LSA 100具有坚固的结构和紧凑的占地面积,适合研究和生产环境。该机组配备了保证温度分布均匀、运行可靠的优质石英管。管子由一系列加热元件加热，由精密的温度管理机器控制，以达到精确的热剖面。VEECO LSA 100的主要特点之一是其先进的气体输送工具。该资产能够以高纯度和高精度输送各种加工气体。这确保了所需的化学反应在管内发生，从而产生一致和高质量的薄膜沉积。LSA 100还配备了创新的过程控制模式，允许用户轻松编程和监控沉积过程。该设备具有用户友好界面,可显示有关温度、压力、气体流量和其他关键参数的实时数据。用户可以轻松设置自定义配方，监控流程性能，实时进行调整以优化结果。除了主扩散炉单元外，VEECO LSA 100还配有一系列附件，增强了其功能性和多功能性。这些附件包括气流控制器、真空泵、质量流控制器以及半导体加工必不可少的其他组件。该系统还兼容各种晶圆尺寸和材料，使其适合广泛的应用。LSA 100旨在满足半导体行业的苛刻要求,因为在半导体行业中,精度和可靠性至关重要。该装置能够执行各种过程，包括氧化、退火、掺杂等。无论是进行研究还是制造先进的半导体器件，VEECO LSA 100都提供了取得优异成绩所需的性能和控制。总体而言，LSA 100是一种最先进的扩散炉机器，提供卓越的性能、可靠性和控制。凭借其先进的功能、用户友好的界面和多用途的配件，该工具是半导体处理应用的理想选择。无论您希望开发新技术还是优化现有流程,VEECO LSA 100都是一个值得信赖的解决方桉,可提供卓越的效果。
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