二手 GAERTNER L106C #116155 待售
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ID: 116155
晶圆大小: 6"
Large substrate ellipsometer
Manual load
Stage: 15" diameter circle, rotates 360°
Radial sliding scale: Graduated in 0.1 cm increments
Total stage travel: 19.8 cm
Variable angle model
Used for measuring coatings on 14" diameter glass disks
Alignment:
Built-in axis of rotation of incident arms is in the sample plane
Method of measurement: Rotating analyzer samples (144) data points
Detector: Solid state with auto gain feature
Incidence angle: 30°, 45°, 50°, 55°. 60°, 65°. 70°, 75°, 80°, 90°
Light source: HeNe 6328A Laser gives less than 1 mW output on sample
Beam diameter (Standard): 1 mm diameter (1 X 3mm on wafer @ 70°)
Measurement time: 3 Seconds
Sample monitor:
(39) Power microscopes for surface viewing
Tilt monitor for checking sample out of flatness
Sample (wafer) size:
6" Diameter standard
3" Linear
360° Rotary motion covers any point on a 6" diameter wafer
Interface: RS232
Computer: IBM PS/2-25 Model 8525001
Film thickness range: 0-60,000 Angstroms
Accuracy: ±3 Angstroms
Repeatability: ±3 Angstrom
Refractive index: ± .005
Power: 115V, 100V, 220V, 230V, 240V.
GAERTNER L106C是一种最先进的非接触式椭圆仪，旨在测量薄膜和表面的复杂光学特性。这种装置能够以极高的速度、精确度和可重复性来确定薄膜的厚度和光学常数。L106C具有紧凑的设计,为用户提供各种数据记录和数据分析选项。凭借其先进的光学设计，GAERTNER L106C能够测量各种样品，如透明、半透明、透明和扩散表面。该设备采用偏振调制激光二极管作为光源，并结合了独特的双变形棱镜设计，以实现更高的测量精度。椭圆偏振仪能够精确测量临界膜参数，包括厚度、光学常数和折射率。系统可以同时扫描多个入射角，让用户快速分析其样品的复杂光学特性。L106C还包括一个全面的软件包，帮助用户存储和分析他们的测量数据。该软件可根据用户的需要进行定制,并具有保存各种胶片参数组合以及根据收集到的数据生成报告的选项。该装置还具有电动采样台，方便、快捷、精确的采样定位。这使用户能够快速准确地测试各种样品，确保在一致、可重复的条件下获得测量结果。此外，该机器被设计为操作，即使在照明环境下，也不需要额外的光源。GAERTNER L106C是一种功能强大、用途广泛的工具,用于对薄膜和光学表面进行精确可靠的测量。它结合了先进的设计和用户友好的软件,可确保准确、可重复的结果,而不会牺牲速度或成本。这种装置非常适合各种应用，如半导体、光电和显示技术。
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