二手 RUDOLPH AUTO EL II #293618566 待售

ID: 293618566
晶圆大小: 6"
优质的: 1983
Ellipsometer, 6" 1983 vintage.
RUDOLPH AUTO EL II是由RUDOLPH Research Analytical生产的用于薄膜表征的光学椭圆仪。它的工作原理是用偏振光照射薄膜样品,并测量反射或透射光的偏振。AUTO EL II使用偏振调制,使得可以同时测量样品光学响应的幅度和相位,从而能够完整描述薄膜的光学特性。该设备设计速度快,用户友好,并具有一系列功能,以最大限度地提高操作的准确性和流畅性。RUDOLPH AUTO EL II利用0.5毫瓦的HeNe激光器,为被研究样品提供反射或透射照明的光束。光束扫描系统包含两个振镜,通过声光调制器将光束引导到样品,然后通过红外探测器测量任何反射或透射光。调制方桉是一种PC控制的4态偏振调制,用于测量进出光的偏振状态。Auto EL II配备了多种功能,可优化精度和效率, 包括提供633 nm至700 nm工作波长范围的高分辨率步进电动机驱动器, 同时测量s和p宝丽来的高动态范围探测器, 以及一个可以控制机动XY运动以及使用操纵杆手动移动的样板, 能够研究范围广泛的样本视场。AUTO EL II提供了功能强大的软件工具,例如RUDOLPH Films Pack、Bulk Solutions Pack和Substrate Solutions Pack,这些工具可以方便地分析和报告通过几个简单步骤获得的样本结果。此外,随附的POL-EL软件套件提供了额外的分析工具,例如泄漏模式分析和薄膜模式分析,使调查人员能够对其数据进行进一步分析。总体而言,RUDOLPH AUTO EL II是一种有效而强大的光学椭圆仪,旨在让用户快速准确地表征薄膜样品。它结合了光学扫描和调制,加上高端软件工具和舞台机动化,确保能够对薄膜样品进行精确的测量和解释。
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