二手 RUDOLPH AUTO EL II #293630320 待售

RUDOLPH AUTO EL II是一种高精度的数位椭圆偏光仪，旨在测量薄膜特性如厚度、光学各向异性、折射率、消光系数以及沉积速率。它是一种非破坏性、非接触式表面分析技术，常用于半导体材料、光学涂层、薄膜堆栈的研发。AUTO EL II是一个自成一体的系统，包括计算机控制的光学模块、样品操纵阶段、单色仪、软件控制的机械臂和光谱仪。RUDOLPH AUTO EL II采用轻巧紧凑的光学模块,能够检测到厚度不超过2nm的超薄膜结构。样本处理阶段能够自动扫描各种尺寸的样本,包括大面积（300mm）基板,从而可以在多个样本区域进行测量。单色仪装有单色滤波器，允许在190 nm至1000 nm的波长下进行测量。软件控制的机械臂确保光学模块相对于样品的正确定位，而光谱仪用于测量从表面反射出来的能量。AUTO EL II易于使用，直观的软件控制用户界面有助于简化样本测量。可以为每个样本编程和微调波长和方向等参数。此外,该软件允许用户存储测试结果、调整分析参数、创建自定义测量序列以及使用自动脚本语言来控制实验。RUDOLPH AUTO EL II是一款功能强大、用途广泛的薄膜分析工具。这种先进的椭圆偏光计具有高精度光学、软件控制的操作以及测量厚度低至2nm的薄层的能力，是从事薄膜和半导体领域工作的研究人员和工程师的理想选择。