二手 RUDOLPH AUTO EL III #293639189 待售

ID: 293639189
晶圆大小: 6"
Ellipsometer, 6" 1995-1996 vintage.
RUDOLPH AUTO EL III是一种自动化的精密椭圆仪,设计用于各种工业应用。椭圆偏振法是对从表面反射的光的偏振强度的研究,是对表面光学性质的测量。RUDOLPH AUTOEL III椭圆偏光计测量晶片结构、透明和不透明薄膜结构以及其他相关样品的薄膜厚度和光学常数。AUTO EL III配备了用户友好的自动化测量系统(AMS),设计用于自动化测序,允许同时测量多个样本。它最多可以存储50种不同的状态或参数组合,使操作员能够在不同的测量状态之间快速轻松地切换。AUTOEL III包括一个Sample Bucket系统,一次最多可容纳10个样品,并有一个样品更换机制,可以将样品从样品桶移动到分析槽中。这样可以更快、更高效地进行样本分析。RUDOLPH AUTO EL III具有安装在手动对准系统上的精确研究级光源和探测器。这使操作员可以轻松调整光强度、检测器灵敏度和采样到检测器的距离。RUDOLPH AUTOEL III也包含各种预设参数,允许只需按一下按钮即可进行不同的测量。它还允许为自定义应用程序编程测量。AUTO EL III椭圆仪具有测量样品材料(介电)的光学常数、膜厚度、光学各向异性、折射率、消光系数和表面粗糙度的能力。它也可用于表面救济分析等高级应用,可用于表征等离子波导等复杂结构。AUTOEL III是一种健壮可靠的仪器,在短时间内提供准确的数据和测量。它非常适合各种工业应用,包括半导体和光学、光学元件分析、光电器件表征和质量控制。RUDOLPH AUTO EL III提供高精度、高速的测量,允许更高的吞吐量和更高的生产率。
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