二手 RUDOLPH AUTO EL (NIR-3) #9122499 待售

RUDOLPH AUTO EL（NIR-3）是由RUDOLPH Research Analytical制造的自动椭圆仪。它是一种非接触式光学仪器，用于测量薄膜材料的厚度、组成、光学常数和相关参数。它通过结合实时光谱、成像和数据分析来测量薄膜表面在广泛应用中的各种特性。RUDOLPH AUTO EL由一个集成的近红外（NIR）源供电，该源选择性地照射光在700至2300nm波长范围内的薄膜样品。然后，这种光从样品表面反射出来，由集成的NIR光谱仪收集。通过光谱测量，这些光信号提供了薄膜材料的折射率、消光系数、层厚以及其他参数的详细信息。仪器配备了多个摄像机，用于记录样品表面的高分辨率图像。集成成像系统由最先进的自动对焦和放大马达系统控制，允许精确对准光学元件进行精确测量。RUDOLPH AUTO EL是一个完全自动化的单元，包括两个阶段：样品加载和准备阶段以及分析阶段。样品制备简单高效。集成加载器通过可选的旋转平台自动处理大多数基板，包括高达1英寸高的晶片。为了对样品进行分析，RUDOLPH AUTO EL采用了能够快速精确测量样品的n值和k值以及层厚度剖面的算法。它还可以测量包括消光系数、薄膜厚度、侧向光泽、折射率、状态的部分光子密度和消光比在内的一系列其他光学常数。该仪器经过工厂校准，具有准确性和鲁棒性，符合SEMI和ASTM标准。此外，RUDOLPH AUTO EL可以与第三方控制器结合使用，从而实现仪器的高级自动化和控制。总体而言，RUDOLPH AUTO EL（NIR-3）为研究人员和技术人员提供了一种用于测量薄膜材料性能的可靠、自动化的解决方桉。易于使用的设计和集成的工具可以高效、准确地测量复杂的薄膜样品。