二手 RUDOLPH AUTO EL #9221065 待售

RUDOLPH AUTO EL是一种自动化的、易于使用的椭圆偏光计，设计用于超精确和可重现的光学薄膜特性。椭圆偏光计测量单色光通过薄膜相关材料时的偏振变化。RUDOLPH AUTOEL允许对光学薄膜进行快速实时计量，同时还提供整个晶圆的厚度映射功能。AUTO EL的三轴电动旋转级具有直观易用的界面,可以快速测量图层的二维和三维映射。椭圆偏光计能够测量各种光学材料，包括氧化物、氮化物和抗蚀层，它可以精确地表征高达10 μ米厚的层和高达200纳米的薄膜。此外，该系统还配备了自动光度成像工具，可自动跟踪样品并调整测量头的光学位置，以进行精确的反射或透射模式测量。就准确性而言,AUTOEL提供了高达4-5%的极高可重复性和可重复性。此外,它的自动聚焦功能还利用优化的光学封装来确保每个图像的最高精度,从而允许具有次nm分辨率的精确深度轮廓。为了更易于使用,该系统与RUDOLPH Autoloader AL100-C（一个五插槽、自动化、机动化的负载站）无缝集成,可实现完全自动化和并行测量。这使用户无需手动加载即可快速启动多站点测量。总体而言，RUDOLPH AUTO EL是需要精确、可重现的光学薄膜特性的实验室的绝佳选择。它具有自动化装载机和卓越的精确度，是研究和质量控制的宝贵工具。