二手 RUDOLPH AUTO EL #9225841 待售

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RUDOLPH AUTO EL
已售出
製造商
RUDOLPH
模型
AUTO EL
ID: 9225841
晶圆大小: 6"
Ellipsometer, 6".
RUDOLPH AUTO EL是一种椭圆偏振仪,测量半导体和光学材料的折射率和薄膜厚度,精度和重复性都非常高。椭圆偏光计是为研究实验室、大学和需要高度可靠和准确结果的生产设施而设计的。其直观的软件界面、高分辨率成像、自动校准,使操作快速简单。椭圆偏振仪是一种可变角度光谱椭圆偏振仪,用于测量薄膜的光学特性,具有集成的红外选项,用于要求更高的应用。它以任意角度组合同时测量s-和p-极化光谱,给出了计算厚度和光学常数。获得专利的可变角度可变摆动技术减少了角度不稳定和摆动造成的缺陷,允许测量具有多层结构和高旋光的样品。椭圆偏光计可以测量任何尺寸或形状的样品,这要归功于可定制的样品级,它具有532 nm和可选的633 nm激光源,用于清洁反射样品的照明。脚踏板操作的采样台确保采样仅在处于所需位置时曝光,5英寸触摸屏为系统控制提供了一个宽敞的交互式平台。五种不同的测量模式,包括强度测量、相位测量、多角度测量、单点相位测量和厚度测量,给出了最大的灵活性。椭圆偏振仪的核心是RUDOLPH MUSE解析软件。结合光谱、迭加和逐点数据操作,MUSE为各种薄膜材料生成准确的结果。它还具有用于分析复杂结构的多级测量、用于查看2D或3D参数平面上的样本信息的多角度数据检查以及用于快速识别薄膜厚度微小变化的多色成像功能。椭圆偏光计提供了高度可靠的数据,可以传输到光学设计软件。
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