二手 RUDOLPH AUTO EL #9296295 待售

RUDOLPH AUTO EL
製造商
RUDOLPH
模型
AUTO EL
ID: 9296295
晶圆大小: 6"
Ellipsometer, 6".
RUDOLPH AUTO EL是一种最先进的椭圆偏振仪,提供对各种表面的薄膜层进行高精度测量。RUDOLPH AUTOEL可以从几乎任何材料如电介质、无机材料、导电材料等精确测量层厚度。该工具依赖于光学椭圆偏振,这是一种测量材料光学特性的光学技术。它基于胶片材料反射或透射时光散射的特性,提供了一种分析选定层厚度和光学常数的方法。AUTO EL以10度为增量提供45-90度的可调入射角的高级多角椭圆偏振测量。这允许用户收集光校准的反射强度光谱。样品由单一的低功率HeNe激光束照射,避免电和热加热,从而改变样品的光学特性。样品的平面内旋转增强了任意薄膜材料的测量,因此可以考虑多个入射角进行更精确的分析。还有一个绝对角度测量选项可以消除角度校准的任何需要。AUTOEL利用液晶光调制器修改入射角和偏振,允许容易的角度扫描和偏振。RUDOLPH AUTO EL上的嵌入式软件允许用户快速调整几个光机参数,如光通量、偏振、入射角和调制频率。它能够根据光学特性和层厚度来解释任何输入光束的结果。这个椭圆偏振仪的数据解释能力包括了许多纠正物理影响的高级算法。RUDOLPH AUTOEL是一种在实验室中监测薄光层的高度可靠和通用的工具。它允许用户使用准确和可重现的数据进行大规模的薄膜测量,同时提供更广泛的可用参数进行调查。AUTO EL是金属和介电薄膜层精密分析的理想工具,在半导体计量、薄膜分析、光学材料研究等诸多领域的应用。
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