二手 RUDOLPH FE III #9139660 待售

RUDOLPH FE III
製造商
RUDOLPH
模型
FE III
ID: 9139660
晶圆大小: 6"
Dual wave auto ellipsometer, 6".
RUDOLP RUDOLPH FE III是一种先进的光谱椭圆仪,用于测量材料的厚度、组成和光学性质。它主要用于测量基板和表面薄膜的光学特性,甚至可以检测到最小厚度到纳米范围内的薄膜。RUDOLPFE III由各种可互换接收模块组成,在从紫外线到红外区域的广泛波长范围内工作。它由一个简单易用的图形用户界面操作,清晰准确地显示和记录数据。该装置结构坚固,性能可靠,采用计算机控制的光学系统,利用旋转补偿器测量样品反射的偏振。它能够连续扫描模式操作来了解样本的平面内参数和平面外参数。RUDOLPH FEIII配备了一系列专门的软件工具,旨在进一步提高其准确性和性能。该软件为仪器的配置、参数扫描的设置和测量数据的解释提供了一个直观的界面。也可用于计算层状样品的光学常数和光学性质。FE-III附有一个独特的附件套件,其中包括一个用于绝对测量的高端参考单元、偏振光学元件、4元长通滤波器和一个光谱仪模块。这些附件进一步提高了设备的准确性和性能。此外,该仪器还配备了一个集成的电动旋转器以及一系列用于广角椭圆偏振的光学元件。该系统允许使用高度可靠的测量和极其广泛的分析能力。综上所述,RUDOLP FEIII是一种最先进的光谱椭圆仪,它提供快速、精确和可靠的测量数据,甚至可以探测到最小厚度到纳米范围内的层。灵活的设计和准确的软件功能使该仪器非常适合不同行业的许多应用。
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